1.采用超短脈沖的紫外皮秒激光器,具有加工效率高,熱影響區(qū)小,無需后續(xù)輔助處理等優(yōu)點(diǎn),可以達(dá)到“冷”加工的工藝
2.采用大理石平臺(tái)Ⅹ/Y系統(tǒng)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),確保平臺(tái)高速運(yùn)行的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性
3.配置高像素CCD自動(dòng)對位功能,保證產(chǎn)品切割對位精確;
4.可配置超大幅面的遠(yuǎn)心場鏡,確保加工大幅面產(chǎn)品時(shí)不要拼接。最大單加工幅面可達(dá)到200×200mm
5.配置高精度的振鏡確保產(chǎn)品加工精度和轉(zhuǎn)角工藝效果。重復(fù)精度可達(dá)1um
